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白光干涉儀
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產品簡單介紹
白光干涉儀
FRT WLI
白光干涉儀采用白光干涉測量傳感器，其垂直分辨率可達0.1nm詳細技術參數：測量原理:白光干涉測量；測量物鏡10X 20X 50X垂直測量范圍：100um(400um可選)垂直分辨率 0.1nm；X,Y測量范圍:1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm；工作距離：3.6mm 3.6mm 1.7mm側向分辨率2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉儀
北京德華振峽科技有限公司
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